目標
將碳石墨感應體加熱至1200°C，用于砷化鎵的沉積。通過將碳石墨加熱到上述溫度，并在感應體上吹過氦氣，可以沉積砷化鎵并形成晶圓。該應用在水冷石英管內進行，每分鐘通過40升氦氣。加熱過程必須非常精確、可重復且均勻。

材料
直徑為3英寸、厚度為1英寸的碳石墨感應體。

溫度
1200°C

應用
通過使用Ameritherm SP 15（15 kW輸出功率的固態感應電源）、水冷石英管、氦氣和一個四匝螺旋線圈，取得了以下結果：
– 每分鐘通過4英寸直徑的石英管輸送40升氦氣。
– 在45秒內達到1200°C。
– 使用紅外光學高溫計觀察到均勻的加熱模式。

設備
Ameritherm SP 15，15 kW輸出功率的固態感應電源，包括一個遠程加熱站，其中包含四個電容器，總容量為1.0 μF；一個由1/4英寸銅管制成、內徑為5 1/2英寸的四匝螺旋線圈；以及一個紅外光學高溫計。

頻率
93 kHz