美國ARC氙汞燈

先進輻射公司用于光刻技術的深紫外線（DUV）短弧燈系列代表了短波長紫外線光刻膠曝光高強度光源在設計、制造和性能方面的最先進水平。

深紫外輻射由汞氙等離子體產生。在燈管制造過程中，必須仔細控制等離子體成分的確切濃度和比例，以獲得最大的輸入功率和輸出輻射轉換率。本文介紹的八種紫外燈是美國領先的紫外照射設備和系統制造商歷時三年多的研發成果。

這些燈管非常適合多種 DUV 光阻配方。PMMA 的靈敏度為 210 至 260 納米；200 至 330 納米；AZ2400 系列的靈敏度為 240 至 310 納米；而 ODVR 系列的靈敏度為 200 至 315 納米。

該類產品：
DUV-350
DUV-500
DUV-1000
DUV-2000
DUV-350-30118
DUV-500-30036
DUV-500-30055
DUV-500-30056